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技術(shù)運(yùn)用

技術(shù)運(yùn)用

APPLICATION OF TECHNOLOGY

LPCVD的應(yīng)用

LPCVD的應(yīng)用

LPCVD ( Low Pressure Chemical Vapor Deposition ),低壓化學(xué)氣相沉積。在芯片制造中,低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)廣泛應(yīng)用于創(chuàng)建各種薄膜,這些薄膜有不同的用途。LPCVD可以用來沉積氧化硅和氮化硅;也可以用來制造摻雜薄膜,以改變硅的導(dǎo)電性。

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氧化工藝的應(yīng)用

氧化工藝的應(yīng)用

氧化反應(yīng)是半導(dǎo)體芯片制程中基本工藝之一,是一種添加工藝,將氧氣加入到硅晶圓后在晶圓表面形成二氧化硅薄膜。薄膜是在高溫下形成,故也稱之為“熱氧化”。

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