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發(fā)展歷程

發(fā)展歷程

DEVELOPMENT HISTORY

2021 年前

半導(dǎo)體設(shè)備市場調(diào)研

完成第三代半導(dǎo)體芯片制程設(shè)備研發(fā)及驗證

完成陶瓷基板釬焊設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)

拉普拉斯集團(tuán)全資子公司——拉普拉斯(廣州)半導(dǎo)體科技有限公司成立

碳化硅高溫激活,高溫氧化設(shè)備量產(chǎn)

8英寸硅基半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)(立式氧化爐、退火爐、LPCVD爐)

2021

2022

8英寸硅基半導(dǎo)體設(shè)備完成驗證

完成陶瓷基板燒結(jié)設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)

8英寸硅基半導(dǎo)體設(shè)備量產(chǎn)

12英寸硅基半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)/驗證

2023

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