產(chǎn)品與技術(shù)
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Bhadra?300系列立式爐
功能
主要應(yīng)用于12英寸氧化、退火及LPCVD工藝
或電話聯(lián)系:
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
晶圓尺寸:12英寸工藝類型:氧化、退火、LPCVD(SiN/POLY/TEOS/HTO)適用材料:硅應(yīng)用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、集成電路、襯底材料、科研
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